(1)硝酸5%~1.0%,氢氟酸0.5%~10%,缓蚀剂Lan—826
0.25%~0.30%;
(2)氢氟酸1%~2%,缓蚀剂Lan—826
0.20%~0.25%;
(3)柠檬酸2%~3%,氨水(调节pH=3.5~4.0),缓蚀剂Lan—826
0.1%~0.2%。
洗搪玻璃反应釜方法之一酸洗,酸洗的方法为用氮气将冲洗水排出后,用泵将配制好的酸洗液打入系统中,当有清洗液返回时通过放空和导淋检查酸洗液是否充满,确定充满后再用泵进行循环清洗并定期切换方向。在循环过程中每隔一定时间进行排污和放空,避免产生气阻和导淋堵塞,影响清洗效果。
酸洗后的水冲洗目的为去除残留的酸洗液和系统内脱落的固体颗粒以利漂洗和钝化处理。其法为用氮气将酸洗液排出,并用大量水对全系统进行开路清洗。不断轮换开启系统各导淋以使沉积在短管内的杂物、残液排净,冲洗过程中每10mm测定一次pH值,当pH值接中性时停止冲洗。
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